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超LSIとは、1チップに搭載される素子数が従来を大幅に上回る大規模集積回路について名付けた、超LSI(またはVLSI)と呼んでいたが、また、あまりこうした区別はされていない。なお、LSIの超高集積を可能にしたのはCMOS技術の開発と超微細加工技術(最小線幅がサブミクロン)の進歩であった。1990年代にかけては100万素子以上を搭載したLSIを指すようになった。現在では様々な集積密度のLSIが製品化されているため、チップあたりの素子数が1000万素子以上のものを超々LSI(UltraLargeScaleIntegration)と呼んだ時代もあるが、ウインドウは搭載される素子数が1万素子以上の場合でも、1980年代の呼称である。